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半導(dǎo)體工藝真空主要用在蒸發(fā)，濺射，PECVD，真空干法刻蝕， 真空吸附，測(cè)試設(shè)備，真空清掃等等鍵合工序，半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃易爆以及有毒的物質(zhì)氣體，會(huì)對(duì)生產(chǎn)及人員安全造成威脅，因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)需要注意的幾個(gè)安全事項(xiàng)：

10月18日，高工鋰電(2018)國(guó)際鋰電池關(guān)鍵材料技術(shù)創(chuàng)新峰會(huì)在深圳盛大開幕?，F(xiàn)場(chǎng)吸引了鋰電材料各個(gè)環(huán)節(jié)及動(dòng)力電池企業(yè)超80位行業(yè)專家、技術(shù)領(lǐng)袖及超400位業(yè)內(nèi)人士，就現(xiàn)階段動(dòng)力電池核心材料的技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)化升級(jí)等展開共同探討。

現(xiàn)象：真空泵抽空能力下降，經(jīng)測(cè)試真空泵在無負(fù)載狀態(tài)下極限真空為8Pa；真空泵進(jìn)行拆解保養(yǎng)后，真空泵在無負(fù)載狀態(tài)下極限真空小于1Pa。

1、真空設(shè)備用于排除實(shí)驗(yàn)過程中大氣對(duì)于樣品純凈度的影響。 2. 實(shí)驗(yàn)操作人員進(jìn)行操作過程中，切勿攜帶電子產(chǎn)品。 3、實(shí)驗(yàn)操作人員需佩戴真空設(shè)備專用操作手套進(jìn)行操作，不能直接觸碰真空設(shè)備。 4、真空設(shè)備配件應(yīng)在干燥箱內(nèi)保存，并遠(yuǎn)離具有腐蝕性的化學(xué)氣體或液體。 5、真空設(shè)備需定期進(jìn)行擦拭，應(yīng)選用無塵紙或無塵布配套酒精或丙酮進(jìn)行清潔。